用时不到两年半：英特尔 High-NA EUV 晶圆处理量突破百万片，超越其他厂商总和

📋总体概括

英特尔宣布其High-NA EUV光刻设备累计处理300mm晶圆突破100万片，距首台设备组装完成不到两年半。英特尔目前拥有两台ASML Twinscan EXE:5000原型机和至少一台EXE:5200B量产机型。2025年2月其累计处理量仅约3万片，到2026年9月增至超百万片。而ASML今年4月披露全球High-NA EUV累计处理量才刚超50万片，意味着英特尔一家的处理量已超过全球其他厂商总和，在下一代光刻技术的量产导入上处于明显领先位置。