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英特尔与阿斯麦推进高NA EUV量产，已处理超100万片晶圆

36氪快讯·2026/9/8 06:22:22🔗 原文

📋总体概括

英特尔晶圆代工（Intel Foundry）与阿斯麦（ASML）宣布，双方正持续推进高数值孔径（High NA）极紫外光刻（EUV）技术的量产应用。英特尔目前已通过早期设备认证、研发及部分量产环节处理超过100万片晶圆，高NA EUV已用于英特尔酷睿Ultra 3系列处理器“Panther Lake”部分层的量产。英特尔表示，采用高NA EUV的英特尔18A制程产品性能达到或超过使用传统0.33数

⚡关键信息

▸英特尔晶圆代工（Intel Foundry）与阿斯麦（ASML）宣布，双方正持续推进高数值孔径（High NA）极紫外光

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