国内首台！华海清科全自动板级CMP量产装备出机 已发往先进封装产线

📋总体概括

9月10日消息，华海清科自主研发的全自动板级CMP量产装备Master-P510APEX顺利出机，发往先进封装产线投入量产，成为国内首台进入量产线的全自动板级CMP装备。板级封装凭借高效率与成本优势，正成为先进封装在CoPoS、FOPLP、TGV互连等工艺中的发展方向，而CMP装备直接决定多层再分布互连的平坦度与芯片良率。此次出机标志着国内板级封装核心装备从研发走向应用，为先进封装产业链自主化补上关键一环。