芯片材料国产化重大突破！高纯石英首次打入DRAM大厂：用于300mm晶圆

📋总体概括

江苏太平洋石英的炉管产品通过国内头部DRAM厂商认证，可用于300毫米晶圆生产，系国产高纯石英首次进入晶圆制造核心工艺环节。该公司此前已向泛林集团、东京电子批量供应LPCVD扩散管、晶舟等产品，纯度达4N5至5N级。自2009年起与南京大学合作攻关6年，将超纯石英砂纯度做到99.999%。至此石英砂提纯到供应晶圆厂的链条基本国产化，但更上游的拉晶坩埚材料仍被美国Spruce Pine两家企业垄断。