国产光刻机突围！海思8英寸全自动光刻机发运：专攻Micro LED芯片制造

📋总体概括

江苏海思半导体一台8英寸全自动掩模对准光刻机于10月13日完成出厂调试与客户验收并正式发运。该设备面向200毫米晶圆，专攻硅基Micro LED晶圆图形化制程，配备双SMIF自动天车上下料与两套独立双机械手臂传输系统，支持批量化运行；正面对准精度优于正负0.5微米，可选配背面对准模块，精度优于正负2微米，并采用三点式气悬浮找平技术应对薄片及翘曲晶圆的曝光需求。这标志着国产光刻设备在Micro LED等细分显示芯片制造领域实现突破。