产业观察

国产光刻机杀入欧洲!江苏海思第17台设备通过验收:马上发运

驱动之家·2026/10/16 02:41:00🔗 原文

📋总体概括

江苏海思半导体(HISIGK)近日完成两台光刻机出厂验收与发运,其中一台全自动光刻机通过欧洲客户验收后即将发运,这是该公司自2024年以来向境外交付的第17台光刻设备。另一台面向8英寸晶圆的全自动掩模对准光刻机用于硅基Micro LED图形化制程,正面对准精度优于正负0.5微米。公司产品谱系覆盖2至12英寸晶圆,从接触式光刻机发展至350纳米分辨率步进式投影光刻机,应用于MEMS、化合物半导体、功率器件、3D封装及新型显示等领域。

⚡关键信息

  • ▸江苏海思第17台光刻设备出口欧洲,客户代表团专程到洁净车间完成出厂验收
  • ▸10月13日另一台8英寸晶圆全自动掩模对准光刻机完成调试并发运
  • ▸该设备正面对准精度优于正负0.5微米,可选背面对准模块精度优于正负2微米
  • ▸产品谱系从1微米级接触式光刻机发展到350纳米及500纳米分辨率步进式投影光刻机
  • ▸公司在苏州相城与成都天府新区设双生产基地,覆盖2至12英寸晶圆完整产品矩阵

🔥犀利点评

别看到光刻机三个字就高潮,这不是ASML级别的EUV,而是面向MEMS、Micro LED等成熟制程的中低端装备,技术门槛和EUV差着几个数量级。但恰恰是这个细分市场,国产设备真刀真枪打进了欧洲客户的验收标准,且两年交付17台的节奏说明不是面子工程。先在黄光区站稳脚跟、用订单养研发,比喊口号务实得多,这条路径是对的。

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