中微公司 Primo Domingo 全球首台付运，面向 GAA 与 3D DRAM 高选择性刻蚀

📋总体概括

10月22日，中微公司宣布其Primo Domingo气相高选择性刻蚀设备的全球首台机付运国内一家重要集成电路研发制造客户。该设备于今年3月发布，针对GAA晶体管、3D NAND和3D DRAM等下一代三维器件工艺开发，中微称其填补了国内在下一代3D半导体器件制造中关键刻蚀工艺的自主化空白。此次付运标志着设备从产品发布进入客户端实际验证环节，是国产刻蚀设备向先进制程关键工艺渗透的重要节点。