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英特尔高管:采用High NA EUV光刻机是正确选择 追赶台积电是规模问题

驱动之家·2026/10/25 23:17:00🔗 原文

📋总体概括

英特尔制造开发与客户互动副总裁克里斯·奥思表示,凭借背面供电技术缓解正面间距要求,英特尔可直接用High NA EUV光刻机印制电路,而台积电因无背面供电、间距更紧,只能依赖EUV双重曝光。英特尔CTO普什卡尔·拉纳德则称追赶台积电是规模问题而非技术问题。High NA EUV可实现16nm至8nm间距,单次曝光可节省成本,英特尔已将其用于Intel 14A(1.4nm)工艺,该节点PDK现已向客户开放洽谈。

⚡关键信息

  • ▸英特尔高管称凭背面供电技术可直接用High NA EUV光刻,台积电无背面供电需采用EUV双重曝光
  • ▸High NA EUV光刻机可实现16nm至8nm间距,通过单次曝光为芯片制造商节省成本
  • ▸英特尔CTO普什卡尔·拉纳德表示追赶台积电是规模问题,而非技术问题
  • ▸High NA EUV将被应用于Intel 14A(1.4nm)工艺,此前报道讨论的是在Intel 18A节点上使用
  • ▸Intel 14A的PDK(工艺设计套件)目前已是可选方案,英特尔正与客户逐一洽谈

🔥犀利点评

把High NA EUV说成英特尔的差异化武器,逻辑上能自洽——背面供电确实缓解了正面间距压力,让单次曝光的双重曝光成本难题有了绕行方案。但别忘了台积电本来就是靠多重曝光把2nm稳步推进的老手,A16也上了背面供电。英特尔真正的问题CTO自己都说了:是规模。技术领先一两代救不了代工业务,没有大客户订单把14A喂饱,再先进的光刻机也只是昂贵的展品。

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