产业观察

新凯来设备全面量产!光掩模加晶圆检测双双击穿:量检测10%空白要被填了

驱动之家·2026/10/27 03:55:00🔗 原文

📋总体概括

新凯来在2026湾芯展确认其半导体设备已全面量产并进入国内多家晶圆厂,覆盖先进逻辑与存储领域。产品线覆盖刻蚀、扩散、薄膜沉积及量检测,并首次公开两款检测设备:PMI(六盘山)图形掩模缺陷检测和mEBI(井冈山)多电子束晶圆缺陷检测,后者集成AI缺陷检测。据伯恩斯坦报告,2025年国产设备在晶圆制造市场份额达21%,但量检测仅约10%,新凯来此举直指这一最大空白,子公司启云方EDA软件也已落地超100家企业。

⚡关键信息

  • ▸新凯来确认设备全面进入量产,已用于国内多家晶圆厂,覆盖先进逻辑与存储领域
  • ▸首次公开PMI(六盘山)掩模缺陷检测与mEBI(井冈山)多电子束晶圆缺陷检测设备,后者集成AI缺陷检测分类
  • ▸2025年国产晶圆制造设备份额达21%,刻蚀31%、薄膜沉积27%,但量检测仅约10%,为国产化最薄弱环节
  • ▸子公司启云方的原理图与PCB设计EDA软件已落地超过100家企业

🔥犀利点评

量检测是国内半导体设备最后一座孤岛,前道工艺设备打得再热闹,没有量检测就等于蒙眼造芯片。新凯来从工艺装备杀进掩模和晶圆缺陷检测,产品用「六盘山」「井冈山」命名,用意不言自明。但要清醒:检测设备验证周期长,10%到30%的爬坡远比刻蚀薄膜更难,量产入场只是第一关,真正考验是晶圆厂敢不敢在先进产线上给它上量。

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